Основные функции и характеристики:
Назначение. Создание вакуума в системах, требующих высокой чистоты и отсутствия масляных загрязнений. Применяется в полупроводниковой промышленности, лабораториях, научных исследованиях и других областях, где критична чистота вакуума.
Тип привода. Магнитный подвес ротора, что исключает необходимость смазки подшипников.
Скорость откачки. По азоту — 2200 л/с, по аргону — 1900 л/с.
Предельное остаточное давление: 10⁻⁷ Па (10⁻⁹ Торр).
Степень сжатия. По азоту — более 10⁸, по водороду — более 1·10⁴.
Максимальная выходная давление: 266 Па (2 Торр).
Частота вращения: 27 000 об/мин.
Время запуска: Менее 8 минут до достижения 90% номинальной скорости.
Входной фланец: ISO250F, VG250, ICF305.
Выходной (форвакуумный) фланец: KF40.
Охлаждение: водяное.
Напряжение питания: 200–240 В.
Максимальная входная мощность: 1200 ВА (без TMS).
Уровень шума: менее 55 дБ.
Температура прогрева. До 120 °C.
Допустимая температура окружающей среды. От 0 до 40 °C.
Температура хранения. От −25 до 55 °C.
